不同於一般bulk materials，薄膜屬於二維堆積而成之微細材料。不僅是近代社會追求輕薄短小電子資訊等元件製作之關鍵技術，更是現今奈米技術必備之製程。當材料薄膜化，其物理化學性質甚至機械性質均產生大幅變化，必須從不同角度來探討薄膜特性。而且，薄膜工程技術之多樣化，有可能發掘出意想不到之特殊機能，使得薄膜之應用更為廣泛。
本課程大綱如下，介紹薄膜技術的歷史與演進，薄膜形成之重要製程技術。同時敘述各種不同型態薄膜之機能與功用。此外對薄膜特性之評估測試以及應用也將加以說明。

內容大綱：
Chapter1薄膜之歷史
Chapter2薄膜之機能與應用
Chapter3薄膜之形成技術與磊晶術
Chapter4真空蒸鍍與濺鍍法
Chapter5化學氣相成長法
Chapter6薄膜之機能 -半導體薄膜、光學薄膜-
Chapter7薄膜之機能 -有機薄膜、磁性薄膜、介電體薄膜-
Chapter8薄膜厚度測試法
Chapter9薄膜之機械性質與化學性質
Chapter10薄膜在電子元件之應用